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掩膜版臟了怎么洗
【2021-07-24】

目前掩膜版清洗常用的方法是使用氫氧化鉀溶液進(jìn)行沖洗,然后再在掩膜版光學(xué)檢測(cè)設(shè)備中進(jìn)行檢查,檢查結(jié)果不合適后再次投入氫氧化鉀溶液進(jìn)行二次清洗,而過檢查結(jié)果依舊不合格,再次重復(fù)清洗,直至檢查結(jié)果合格。

氫氧化鉀溶液對(duì)于一般的有機(jī)物清洗的效果較好,但是對(duì)于其他有機(jī)物清洗效果一般,比如油污類的臟污,如果出現(xiàn)油污類的臟污需要進(jìn)行反復(fù)多次清洗,這樣對(duì)于掩膜版也有造成一定得損傷。

針對(duì)有機(jī)物的臟污,可以使用四甲基氫氧化銨溶液進(jìn)行清洗,但成本較高,所以在掩膜版一般儲(chǔ)存在潔凈室內(nèi),使用過程中也應(yīng)輕拿輕放。


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