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　　光刻掩膜版的壽命有一個很大的變化范圍，通常介于1000-5000個曝光晶圓計數。

　　在掩膜版的使用過程中，霧狀缺陷是影響掩膜版壽命的主要因素。隨著光刻波長的變化，受霧狀缺陷影響的光刻版比例可高達20%。因此，控制掩膜版使用和保存環境對保護掩膜版壽命有很重要的作用。