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掩膜版需要保證表面的清潔度，一般要存放在潔凈室內(nèi)。潔凈室又被稱作無塵室和凈化車間，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的浮塵、微粒子、細菌等污染物排除，并且將室內(nèi)的溫度、潔凈度、氣流速度與分布、氣壓、噪聲振動及照明、靜電等等因素控制在某個范圍內(nèi)的特別房間。

因為掩膜版的基材一般多為玻璃，所以如果需要對光刻版長期保存，需要保持在干燥的環(huán)境里，避免出現(xiàn)發(fā)霉等現(xiàn)象，影響光學性能。

使用時應(yīng)輕拿輕放，曝光前必須對光檢查掩模版表面，使用完畢后也應(yīng)將光刻掩模版重新清洗干凈，干燥后再進行保存。