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電路信息怎么轉(zhuǎn)移到光刻掩膜版？

【2021-09-24】

　　光刻掩膜版其實就是電路信息轉(zhuǎn)移的工具，首先是使用軟件，繪制出所需的圖形，也就是電路信息，然后把版圖文件信息傳輸進光刻機，通過投影和離子束曝光的方式，將版圖文件上的電路信息制作在光刻掩膜版上，這樣就得到了一塊帶有電路信息圖案的掩膜版。

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