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　　掩膜版是轉移圖形的工具，光刻掩膜版的作用就是為了將電路信息圖形轉移到硅片或者玻璃襯底上，每個掩膜版所能夠繪制的電路信息圖形是有限的，而芯片制作需要很多不同的電路信息圖形，所以在芯片制作過程中需要很多塊掩膜版，每個掩膜版轉移完版上的圖形后，就不會再用到了，而且如果工藝驗證過程中，有細微的差異，可能還需要光刻的版圖進行調整，從而達到參數補償的問題，那么原本制作的光刻半也不會再使用了，所以說光刻掩膜版是光刻工藝中的消耗品。