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2021-09-08

　　 光刻掩膜版 的正反面區分其實很簡單，最簡單的方法就是拿到光學顯微鏡下觀察，有圖形的一面則為正面，反之沒有圖形的一面為反面，刻蝕的時候光刻...

2021-09-03

　　光刻膠分為正性光刻膠和負性光刻膠，在做工藝時，使用正性光刻膠， 光刻掩膜版 上透光區域的光刻膠會被顯影掉，蒸發金屬時透光區域區域留下金屬C...

2021-08-20

　　步進式 光刻掩膜版 的材料是石英，因為石英掩膜版使用在深紫外光刻中使用，石英基材的熱膨脹系數非常小，所以在溫度改變時間也是相對穩定的，而且...

2021-08-02

光刻掩模版 主要由兩個部分組成，不透光材料與掩模基板。光刻版也被稱作鉻版，就是指在蘇打玻璃或石英玻璃上通過濺射的方式鍍一層鉻層，鉻層就是不透...
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