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2021-09-08

   光刻掩膜版 的正反面區分其實很簡單,最簡單的方法就是拿到光學顯微鏡下觀察,有圖形的一面則為正面,反之沒有圖形的一面為反面,刻蝕的時候光刻...

2021-09-03

  光刻膠分為正性光刻膠和負性光刻膠,在做工藝時,使用正性光刻膠, 光刻掩膜版 上透光區域的光刻膠會被顯影掉,蒸發金屬時透光區域區域留下金屬C...

2021-08-20

  步進式 光刻掩膜版 的材料是石英,因為石英掩膜版使用在深紫外光刻中使用,石英基材的熱膨脹系數非常小,所以在溫度改變時間也是相對穩定的,而且...

2021-08-02

光刻掩模版 主要由兩個部分組成,不透光材料與掩模基板。光刻版也被稱作鉻版,就是指在蘇打玻璃或石英玻璃上通過濺射的方式鍍一層鉻層,鉻層就是不透...
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