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2022-06-28

光刻掩膜版清洗一般使用掩膜版清洗液，是有專門(mén)的額清洗機(jī)器的。首先將掩膜版放入掩膜版清洗機(jī)一邊沖洗一邊旋轉(zhuǎn)，將污染顆粒沖洗干凈，之后在高速旋...

2022-06-21

光刻是一門(mén)比較綜合的技術(shù)，它采用照相復(fù)印的技術(shù)，將光刻掩膜版上的圖形復(fù)制在涂有光刻膠的金屬蒸發(fā)層上。如果掩膜版受光刻膠污染，很大程度上會(huì)影...

2022-06-10

相位掩膜版是一種表面刻蝕光柵，基底材料為熔融石英的掩膜版，它可以作為精確的衍射光學(xué)元件，目前已在多家單位取得廣泛應(yīng)用。相位掩膜版的制造涉...

2022-06-02

掩膜版因?yàn)榉Q光罩，是光刻過(guò)程中必不可少的一個(gè)工具，關(guān)于掩膜版的清洗方法多樣，掩膜版廠家所提供的的清洗方法是用飽和的NaOH溶液浸泡5min, 用去離...

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